济南中乌大尺寸金刚石单晶取得重大突破
济南中乌利用HPHT法和CVD法实现大尺寸金刚石单晶的生长。
金刚石被称为“终极半导体”材料,主要采取高温高压(HPHT)法和化学气相沉积(CVD)法生长,目前材料尺寸是限制金刚石及其应用的瓶颈之一。
济南中乌新材料有限公司通过改进六面顶压机和优化HPHT生长工艺,实现了最大粒径11.48mm大尺寸金刚石单晶的生长。
HPHT法大尺寸金刚石单晶
济南中乌新材料有限公司通过承担山东省自然科学基金项目重大基础研究课题,于2018年引进金刚石MPCVD设备,通过技术攻关利用马赛克拼接法实现了12.2mm大尺寸金刚石单晶的生长,填补了省内空白,为金刚石半导体的研发提供了基础保证。
CVD法大尺寸金刚石单晶